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傅里葉變換紅外光譜分析儀，MG6030
MG 6030傅里葉變換紅外光譜分析儀是以傅里葉變換紅外為基礎(chǔ)的多氣體光譜分析儀。其具有ppb到ppm靈敏度。廣泛用于半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝控制和監(jiān)控，氣體純度和組成分析，環(huán)境有毒有害氣體監(jiān)視和工業(yè)尾氣監(jiān)視。MG 6030傅里葉變換紅外光譜分析儀能分析含有高達40%水的氣流，能同時分析和顯示多達30種氣體。分析儀儲存了校準光譜，故省出了氣體筒的成本。另外，操作者也會發(fā)現(xiàn)MG 6030傅里葉變換紅外光譜分析儀操作簡便，易于維護。
MG 6030傅里葉變換紅外光譜分析儀由2102傅里葉變換紅外制成分光計，高光通量取樣單元，專業(yè)分析軟件及獨立的定量光譜庫組成。MG 6030收集高分辨率的紅外光譜與定量光譜庫分析，提供絕大多數(shù)氣體及水蒸氣的高精度，高靈敏度測量。
應(yīng)用領(lǐng)域： ●煙囪監(jiān)測器 ●工藝監(jiān)測改進和優(yōu)化 ●空氣環(huán)境分析 ●氣體純度分析 ●燃燒排放監(jiān)測 ●選擇性硅整流催化還原性能監(jiān)測 |
特點和優(yōu)點：
●10ppb~100%靈敏度對于絕大多數(shù)有毒有害氣體
●易于移動從一處移到另一處，設(shè)置僅需幾分鐘
●同時分析和顯示多達30種氣體
●分析儀儲存了校準光譜，省去了氣體筒的成本
●取樣氣體在進入分析室前加熱并維持恒定溫度
●線性檢測器，確保所有分析儀維持在相同的校準條件下
●頻率和分辨率診斷，確保校準恒定
●提供自動溫度和壓力補償以確保分析精度
●用戶操作簡便軟件界面，稍加培訓(xùn)即可操作
分析儀主機
測試技術(shù) 傅里葉變換紅外光譜
可測試氣體或水蒸氣 絕大多數(shù)分子除了氮氣，氧氣和氫氣
范圍 濃度從10ppb到100%
傅里葉變換紅外 2102制成傅里葉變換紅外
光譜分辨率 0.5 - 128cm-1
掃描速度 每秒5次在0.5cm-1
掃描時間 1 – 300秒
紅外源 碳化硅在1200℃
參考激光 氦氖（15798.2cm-1）
檢測器 液氮冷卻MCT或半導(dǎo)體制冷冷卻MCT（汞-鎘-碲化物）
清潔(Purge)壓力 最大20PSI(1.5bar)
光譜室Purge流量 0.2升/分，干燥氮氣或露點在-70℃以下無二氧化碳的干燥空氣
光學(xué)系統(tǒng)Purge流量 0.2升/分，干燥氮氣或露點在-70℃以下無二氧化碳的干燥空氣
壓力傳感器 MKS Baratron 電容式薄膜壓力傳感器
Purge連接 Swagelok 快速接頭
電腦要求 臺式或筆記本電腦帶Intel奔騰 處理器,微軟Wingdows； XP操作系統(tǒng)，1024 X 768顯示
通訊口 RJ-45交叉以太網(wǎng)
輸出選件 XML，模擬，AK，其他
尺寸 445mm寬 *318mm高 * 648mm深
安裝 可安裝于19英寸標準機柜
電源 110V或220V，50/60hz，3A
重量 50公斤
IR Spectrum of Semiconductor Stack: Sample (white), Calibrations (color). MG 6030 can speciate (differentiate) similar molecules simultaneously. |
分析儀采樣參數(shù)
采樣溫度 室溫至200℃（取決于校準溫度）
采樣速流 0.2 – 10升/分
采樣壓力 0.01 – 4大氣壓（取決于校準壓力）
結(jié)構(gòu) 鍍鎳鋁，或316不銹鋼焊接選件
接頭 Swagelok?或VCR?
采樣壓力 1個大氣壓（取決于校準壓力）
管道 加熱不銹鋼
Graphical User Interface for Calibration |
窗口 KBr﹔CaF2, ZnSe(其他可選)
“O"型密封圈 Viton(其他可選)
檢測極限
5.11米氣室，MCT檢測器在0.5cm-1分辨率下，下列典型氣體檢測數(shù)據(jù)為：
名稱 | 分子式 | 20/20TM氣室， 5分鐘檢測時間下的檢測值 | 20/20TM氣室， 1秒鐘檢測時間下的檢測值 |
氨氣 | NH3 | 30ppb | 0.5ppm |
二氧化碳 | CO2 | 12ppb | 0.2ppm |
一氧化碳 | CO | 72ppb | 1.2ppm |
甲醛 | H2CO | 36ppb | 0.6ppm |
氯化氫 | HCl | 87ppb | 1.5ppm |
甲烷 | CH4 | 36ppb | 0.6ppm |
二氧化氮 | NO2 | 24ppb | 0.4ppm |
氧化氮 | NO | 210ppb | 3.6ppm |
氧化二氮 | N2O | 30ppb | 0.5ppm |
四氟化硅 | SiF4 | 10ppb | 0.15ppm |
二氧化硫 | SO2 | 36ppb | 0.6ppm |
四氟化碳 | CF4 | 2.5ppb | 40ppb |
二甲苯磺 | C8H10 | 60ppb | 1.0ppm |
